一种半导体烘箱氮气调节装置的制作方法

本技术涉及氮气调节，具体为一种半导体烘箱氮气调节装置。背景技术：1、在半导体生产时，需要对半导体半成品进行干燥，半导体半成品在空气中干燥极容易发生氧化，因此，工业生产时，在烘箱内加入氮气以防止半导体半成品氧化。2、如专利号为cn111947446a的一种半导体烘箱氮气调节装置，针对没有对氮气进行加热的问题，现提出以下方案，包括底板，所述底板的顶部外壁设置有氮气瓶、加热箱和烘干箱，且加热箱的一侧外壁设置有电子气泵，电子气泵的输入端和加热箱的一侧内壁设置有同一个第三导辊，所述氮气瓶的输出端和加热箱的顶部内壁设置有同一个第一导管，且加热箱的内壁两侧均设置有加热器。3、针对上述描述内容，申请人认为存在以下问题：4、在使用过程中，该技术方案中主要是对烘箱内部的温度进行调节，但是烘箱氮气进气量无法调节，且氮气在烘箱内分布不均匀，不能有效保护半导体半成品。技术实现思路1、本实用新型的目的在于提供一种半导体烘箱氮气调节装置，以解决上述背景技术中提出的问题。2、为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种半导体烘箱氮气调节装置，包括半导体烘箱和外接方管，所述半导体烘箱正面下端开设有长槽，所述长槽正面设置为开口，所述半导体烘箱和长槽内壁底部开设有t型槽，所述t型槽内部滑动连接有t型板，所述t型板顶部固定连接有放置盒，所述半导体烘箱顶部固定连接有进气方管，所述半导体烘箱内部固定连接有调节机构，所述进气方管和外接方管之间固定连接有连接机构；3、所述调节机构包括移动组件和吹风组件，所述吹风组件设置于移动组件底部；4、所述移动组件包括滑槽，所述滑槽开设于半导体烘箱内壁左右两侧，所述半导体烘箱内壁背面固定连接有第一电机，所述第一电机数量为两个，两个所述第一电机正面固定连接有双向螺纹杆，所述双向螺纹杆表面和半导体烘箱内部转动连接，所述双向螺纹杆前后两侧表面均螺纹连接有连接座，所述连接座表面和滑槽内部滑动连接，所述连接座远离半导体烘箱内壁一侧固定连接有连接板，所述连接板顶部固定连接有遮盖板，所述遮盖板设置于进气方管底部。5、优选的，所述双向螺纹杆数量为两个，两个所述双向螺纹杆前后两侧表面的螺纹线规格一致且方向相反，在螺纹杆转动时，两个连接座能在双向螺纹杆表面进行移动时，能便于调节进气方管底部的开口大小。6、优选的，所述吹风组件包括隔板，所述隔板数量为两个，两个所述隔板均固定连接于半导体烘箱内壁左右两侧，两个所述隔板设置于两个滑槽底部，所述半导体烘箱左侧固定连接有第二电机，所述第二电机右侧固定连接有蜗杆，所述蜗杆表面啮合连接有蜗轮，所述蜗轮轴心处固定连接有转轴，所述转轴表面和隔板内部转动连接，所述转轴上侧表面固定连接有吸风扇叶，所述吸风扇叶设置于蜗轮顶部。7、优选的，所述蜗杆数量为两个，两个所述蜗杆左右两侧表面的螺纹线规格一致且方向相同，蜗杆带动两个蜗轮转动，蜗轮转动也能带动转轴，转轴也能带动吸风扇叶转动，可以将半导体烘箱内上层空间内的氮气吸入在半导体烘箱内的下层空间内充分和放置在放置盒内的半导体材料进行反应。8、优选的，所述连接机构包括长板，所述长板固定连接于进气方管表面，所述长板左右两侧内部开设有矩形槽，外接方管左右两侧均固定连接有固定板，所述固定板数量为四个且两两为一组，所述固定板底部固定连接有插板，所述长板顶部中心处固定连接有限位板，所述限位板前后两侧均固定连接有电动推杆，所述电动推杆另一侧固定连接有固定座，所述固定座另一侧固定连接有方块，前后两个所述插板内侧开设有方槽。9、优选的，所述矩形槽数量为四个且两两为一组，所述矩形槽顶部和远离进气方管一侧设置为开口，所述矩形槽内部和插板表面插接。10、优选的，前后两个所述方槽内侧设置为开口，所述方块表面和方槽内部插接，方块插接在方槽内，即可将外接方管进行固定插接在进气方管内，便于对半导体烘箱内进行充氮气。11、与现有技术相比，本实用新型提供了一种半导体烘箱氮气调节装置，具备以下有益效果：12、1、该半导体烘箱氮气调节装置，通过设置调节机构，在调节机构运行下，第一电机带动双向螺纹杆转动，两个连接座在双向螺纹杆表面向相对一侧进行移动，这时连接座带动连接板移动，连接板带动遮盖板在进气方管底部移动，便于调节进气方管底部的开口大小，可以对氮气的导入量进行调节,第二电机带动蜗杆转动，蜗杆带动两个蜗轮转动，蜗轮转动也能带动转轴，转轴也能带动吸风扇叶转动，可以将半导体烘箱内上层空间内的氮气吸入在半导体烘箱内的下层空间内充分和放置在放置盒内的半导体材料进行反应。13、2、该半导体烘箱氮气调节装置，通过设置连接机构，在连接机构运行下，将外接方管插接在进气方管内时，插板插接在矩形槽内，电动推杆能带动固定座移动，在固定座移动时也能带动方块插接在方槽内，即可将外接方管进行固定插接在进气方管内，便于对半导体烘箱内进行充氮气。技术特征：1.一种半导体烘箱氮气调节装置，包括半导体烘箱(1)和外接方管(4)，其特征在于：所述半导体烘箱(1)正面下端开设有长槽(7)，所述长槽(7)正面设置为开口，所述半导体烘箱(1)和长槽(7)内壁底部开设有t型槽(9)，所述t型槽(9)内部滑动连接有t型板(8)，所述t型板(8)顶部固定连接有放置盒(2)，所述半导体烘箱(1)顶部固定连接有进气方管(6)，所述半导体烘箱(1)内部固定连接有调节机构(3)，所述进气方管(6)和外接方管(4)之间固定连接有连接机构(5)；2.根据权利要求1所述的一种半导体烘箱氮气调节装置，其特征在于：所述双向螺纹杆(315)数量为两个，两个所述双向螺纹杆(315)前后两侧表面的螺纹线规格一致且方向相反。3.根据权利要求1所述的一种半导体烘箱氮气调节装置，其特征在于：所述吹风组件(32)包括隔板(324)，所述隔板(324)数量为两个，两个所述隔板(324)均固定连接于半导体烘箱(1)内壁左右两侧，两个所述隔板(324)设置于两个滑槽(314)底部，所述半导体烘箱(1)左侧固定连接有第二电机(321)，所述第二电机(321)右侧固定连接有蜗杆(325)，所述蜗杆(325)表面啮合连接有蜗轮(322)，所述蜗轮(322)轴心处固定连接有转轴(323)，所述转轴(323)表面和隔板(324)内部转动连接，所述转轴(323)上侧表面固定连接有吸风扇叶(326)，所述吸风扇叶(326)设置于蜗轮(322)顶部。4.根据权利要求3所述的一种半导体烘箱氮气调节装置，其特征在于：所述蜗杆(325)数量为两个，两个所述蜗杆(325)左右两侧表面的螺纹线规格一致且方向相同。5.根据权利要求1所述的一种半导体烘箱氮气调节装置，其特征在于：所述连接机构(5)包括长板(51)，所述长板(51)固定连接于进气方管(6)表面，所述长板(51)左右两侧内部开设有矩形槽(58)，外接方管(4)左右两侧均固定连接有固定板(54)，所述固定板(54)数量为四个且两两为一组，所述固定板(54)底部固定连接有插板(59)，所述长板(51)顶部中心处固定连接有限位板(52)，所述限位板(52)前后两侧均固定连接有电动推杆(53)，所述电动推杆(53)另一侧固定连接有固定座(57)，所述固定座(57)另一侧固定连接有方块(56)，前后两个所述插板(59)内侧开设有方槽(55)。6.根据权利要求5所述的一种半导体烘箱氮气调节装置，其特征在于：所述矩形槽(58)数量为四个且两两为一组，所述矩形槽(58)顶部和远离进气方管(6)一侧设置为开口，所述矩形槽(58)内部和插板(59)表面插接。7.根据权利要求5所述的一种半导体烘箱氮气调节装置，其特征在于：前后两个所述方槽(55)内侧设置为开口，所述方块(56)表面和方槽(55)内部插接。技术总结本技术涉及氮气调节技术领域，且公开了一种半导体烘箱氮气调节装置，半导体烘箱内部固定连接有调节机构，进气方管和外接方管之间固定连接有连接机构；调节机构包括移动组件和吹风组件，移动组件包括滑槽，半导体烘箱内壁背面固定连接有第一电机，两个第一电机正面固定连接有双向螺纹杆。该半导体烘箱氮气调节装置，通过设置调节机构，连接板带动遮盖板在进气方管底部移动，便于调节进气方管底部的开口大小，可以对氮气的导入量进行调节,蜗杆带动两个蜗轮转动，蜗轮转动也能带动转轴，转轴也能带动吸风扇叶转动，可以将半导体烘箱内上层空间内的氮气吸入在半导体烘箱内的下层空间内充分和放置在放置盒内的半导体材料进行反应。技术研发人员：徐照平,张明明,张鹏受保护的技术使用者：济南顺东电子科技有限公司技术研发日：20240117技术公布日：2024/8/16