一种含粉末尾气的处理装置

本技术属于尾气处理领域，涉及一种含粉末尾气的处理装置。背景技术：1、化学气相吸附(cvd)是把含有构成薄膜元素的一种或者几种化合物、单质气体供给高温反应腔内的基体，借助气相作用或在基体表面上的化学反应在基体上制得金属或化合物薄膜的方法。它可以利用气相间的反应，在不改变基体材料成分和不消弱基体材料强度的条件下，赋予材料表面一些特殊的性能。由于反应气体在高温反应腔内的滞留时间较短(通常为数秒或者数十秒)，气态物质在经过反应区后通常会有副产物(部分未完全裂解产物或反应后产生的新物质)产生，副产物沿着气路系统从尾气端排出。这些副产物在尾气传输管道中随着温度降低，部分会产生粉末或聚合成大分子有机物。此外，有的副产物具有很强的腐蚀性。因此，尾气在经过泵之前必须进行严格的过滤处理，否则不仅会堵塞气体管路，也会造成泵的堵塞和腐蚀损坏。2、中国专利《一种立式釜尾气过滤装置》公开了一种粉末尾气处理装置及方法,立式釜本体内部产生的尾气通过尾气出口管进入到尾气净化箱的内部,经过三组过滤网的过滤后排出,需要对过滤网进行清理时,向外抽拔连接板两侧的拉杆,拉杆带动限位块移动,当限位块不再对连接板进行限位时,固定板从尾气净化箱内部弹出,弹出后即可对过滤网进行清洁,密封槽卡接进第一密封垫圈的内部,第二密封垫圈卡接在固定板的外侧侧壁,防止尾气泄漏。现在的过滤装置很难保证尾气中的固体粉末完全过滤，因此在cvd时，时常吸附十几小时后，泵出现堵塞。技术实现思路1、为解决有效地过滤尾气中所含的粉末，保证泵的长久使用，本实用新型提供一种含粉末尾气的处理装置，包括进气口、罐体、第一过滤系统、第二过滤系统和出气口，所述进气口和出气口设置于罐体上，所述第一过滤系统和第二过滤系统连通并设置于所述罐体内，所述进气口与第一过滤系统连通，所述出气口与第二过滤系统连通，含粉末尾气通过进气口再分别经第一过滤系统和第二过滤系统后从出气口排出。2、较佳的，所述第一过滤系统包括导气管和吸附腔，所述导气管和进气口连通，所述吸附腔设置于罐体下部。3、较佳的，所述罐体的高度为0.5m～3m。4、较佳的，所述导气管与罐体的高度之比为1:3～3：4，所述导气管的直径为10mm～500mm。5、较佳的，所述导气管的下端为喇叭口，所述喇叭口的截面直径向下逐渐变大。6、较佳的，所述吸附腔内设置有高黏性材料，所，用于吸附经导气管后含粉末尾气中的粉末。7、较佳的，所述第二过滤系统包括高比表面积的吸附层，所述吸附层设置于罐体上部。8、较佳的，所述吸附层为碳毡、活性炭不锈钢过滤器或者无纺布滤芯。9、较佳的，所述吸附层为1～4层。10、较佳的，所述吸附层卡于或扣于罐体的中上部。11、本实用新型采用了高低落差的方法，使尾气中的粉末杂质具有更快的下落速度，落在高黏性材料的表面上，达到第一次过滤效果，导气管下端采用喇叭口以增大尾气与高黏性材料的接触面积；选择高比表面积的吸附层进行第二次过滤；采用高落差的双重过滤系统，不仅提高了尾气过滤效果，可使泵长时间稳定运行，而且过滤装置易于拆装，方便清洁，可重复使用。技术特征：1.一种含粉末尾气的处理装置，其特征在于，包括进气口、罐体、第一过滤系统、第二过滤系统和出气口，所述进气口和出气口设置于罐体上，所述第一过滤系统和第二过滤系统连通并设置于所述罐体内，所述进气口与第一过滤系统连通，所述出气口与第二过滤系统连通，含粉末尾气通过进气口再分别经第一过滤系统和第二过滤系统后从出气口排出；所述第一过滤系统包括导气管和吸附腔，所述导气管和进气口连通，所述吸附腔设置于罐体下部；所述导气管的下端为喇叭口，所述喇叭口的截面直径向下逐渐变大。2.如权利要求1所述的含粉末尾气的处理装置，其特征在于，所述罐体的高度为0.5 m～3 m。3.如权利要求1所述的含粉末尾气的处理装置，其特征在于，所述导气管与罐体的高度之比为1:3～3：4，所述导气管的直径为10 mm～500 mm。4.如权利要求1所述的含粉末尾气的处理装置，其特征在于，所述吸附腔内设置有高黏性材料，所述高黏性材料为硅油或真空泵油。5.如权利要求1所述的含粉末尾气的处理装置，其特征在于，所述第二过滤系统包括高比表面积的吸附层，所述吸附层设置于罐体上部。6.如权利要求5所述的含粉末尾气的处理装置，其特征在于，所述吸附层为碳毡、活性炭不锈钢过滤器或者无纺布滤芯。7.如权利要求5所述的含粉末尾气的处理装置，其特征在于，所述吸附层为1～4层。8.如权利要求5所述的含粉末尾气的处理装置，其特征在于，所述吸附层卡于或扣于罐体的中上部。技术总结本技术公开了一种含粉末尾气的处理装置，包括进气口、罐体、第一过滤系统、第二过滤系统和出气口，所述进气口和出气口设置于罐体上，所述第一过滤系统和第二过滤系统连通并设置于所述罐体内，所述进气口与第一过滤系统连通，所述出气口与第二过滤系统连通，含粉末尾气通过进气口再分别经第一过滤系统和第二过滤系统后从出气口排出。本技术采用高落差的双重过滤系统，大大提高了尾气过滤效果。技术研发人员：霍彩霞,屠俊阳,涂建新,李爱军,杜苏轩,张方舟,张齐贤,郝魁,孙乐,周亚迪受保护的技术使用者：上海大学技术研发日：20231205技术公布日：2024/8/16