裁剪模具的制作方法

本技术涉及碳化硅长晶，尤其涉及一种裁剪模具。背景技术：1、在长晶行业内，热场对晶体的生长质量起着至关重要的作用，在热场的构成中，保温毡对温度分布的均一性有着决定性作用。常见的保温毡有石墨软毡和石墨硬毡(长纤和短纤)。在碳化硅长晶热场中，石墨软毡因优异的保温性和柔韧性，被广泛使用。其中，制作环形保温软毡的时候，需要根据实际需求调整环形裁刀的尺寸，同时还必须保证环形的同心度。2、现有技术中，石墨软毡的裁剪过程包括两种。一种是使用圆规刀，根据需求，分两次裁剪得到环形软毡。该种裁剪过程存在如下问题：分两次裁剪，难以保证同心度，且定位和裁剪时间较长。另一种是使用单独(或者配合)的环形裁刀，部分尺寸实现一次裁剪，但不能实现全尺寸一次性裁剪。该种裁剪过程存在如下问题：非一次裁剪的环形软毡同心度差，无法实现一定尺寸范围内的全尺寸一次性裁剪。3、因此，亟需一种裁剪模具，以解决上述技术问题。技术实现思路1、本实用新型的目的在于提供一种裁剪模具，用于裁剪环形软毡，旨在提高环形软毡的同心度和裁剪效率，降低裁剪误差。2、为达此目的，本实用新型采用以下技术方案：3、裁剪模具，包括：4、定位支撑杆，所述定位支撑杆上设有多个直径逐渐增大的定位孔组，每个所述定位孔组均包括两个定位孔，每组所述定位孔组的两个所述定位孔均相对于所述定位支撑杆的中心处对称设置；5、第一裁刀，设有用于卡固所述定位支撑杆的第一卡固部，且所述第一裁刀与其中一所述定位孔组可拆卸连接；6、第二裁刀，设有用于卡固所述定位支撑杆的第二卡固部，所述第二裁刀与另一所述定位孔组可拆卸连接，所述第二卡固部和所述第一卡固部位于同一直线上。7、可选地，所述第一裁刀包括第一环形支撑柱体和第一环形裁刀件，所述第一卡固部设于所述第一环形支撑柱体的第一端，所述第一环形裁刀件凸设于所述第一环形支撑柱体的第二端，所述第一环形裁刀件和所述第一环形支撑柱体同轴设置；8、所述第二裁刀包括第二环形支撑柱体和第二环形裁刀件，所述第二卡固部设于所述第二环形支撑柱体的第一端，所述第二环形裁刀件凸设于所述第二环形支撑柱体的第二端，所述第二环形裁刀件和所述第二环形支撑柱体同轴设置。9、可选地，所述第一卡固部设置为贯通所述第一环形支撑柱体两侧的第一卡固槽；10、所述第二卡固部包括两个设置在所述第二环形支撑柱体上的第二卡固槽，两个所述第二卡固槽相对所述第二环形支撑柱体的轴线对称设置，且所述第二卡固槽和所述第一卡固槽位于同一直线上。11、可选地，所述第一卡固槽的槽底设有两个第一螺纹孔，两个所述第一螺纹孔与其中一所述定位孔组的两个定位孔一一对应，第一螺纹件螺接穿设于所述定位孔和对应的所述第一螺纹孔内；12、两个所述第二卡固槽的槽底均设有第二螺纹孔，两个所述第二螺纹孔与另一所述定位孔组的两个定位孔一一对应，第二螺纹件螺接穿设于所述定位孔和对应的所述第二螺纹孔内。13、可选地，所述第一卡固槽的槽深与所述定位支撑杆的高度相同，所述第一卡固槽的槽深与所述第二卡固槽的槽深相同。14、可选地，所述第一环形裁刀件的直径为15mm-30mm。15、可选地，所述第二环形裁刀件的直径为100mm-400mm。16、可选地，定位支撑杆的长度为410mm-430mm。17、可选地，所述定位支撑杆的高度为4mm-6mm。18、可选地，所述定位支撑杆的材质为440c刀具钢。19、本实用新型的有益效果：本实用新型提供的裁剪模具，通过设置定位支撑杆，定位支撑杆上设置有多个不同直径的定位孔组，可以根据需要裁剪的环形软毡的尺寸，将第一裁刀和第二裁刀分别安装在对应的两个定位孔组上，能够实现对环形软毡的一次成形，减少定位次数，减小裁剪误差，同时可以将环形软毡的圆度误差控制在1mm内，有效提高环形软毡的同心度，使得裁剪得到的环形软毡极大程度地满足长晶热场温度分布均一性和不同炉次生长一致性的要求，优化晶体生长中由于温度分布不均一引起的缺陷，有助于得到生长一致性好、质量高的晶体。技术特征：1.裁剪模具，其特征在于，包括：2.根据权利要求1所述的裁剪模具，其特征在于，所述第一裁刀(200)包括第一环形支撑柱体(210)和第一环形裁刀件(220)，所述第一卡固部(211)设于所述第一环形支撑柱体(210)的第一端，所述第一环形裁刀件(220)凸设于所述第一环形支撑柱体(210)的第二端，所述第一环形裁刀件(220)和所述第一环形支撑柱体(210)同轴设置；3.根据权利要求2所述的裁剪模具，其特征在于，所述第一卡固部(211)设置为贯通所述第一环形支撑柱体(210)两侧的第一卡固槽；4.根据权利要求3所述的裁剪模具，其特征在于，所述第一卡固槽的槽底设有两个第一螺纹孔(212)，两个所述第一螺纹孔(212)与其中一所述定位孔组的两个定位孔(111)一一对应，第一螺纹件螺接穿设于所述定位孔(111)和对应的所述第一螺纹孔(212)内；5.根据权利要求3所述的裁剪模具，其特征在于，所述第一卡固槽的槽深与所述定位支撑杆(100)的高度相同，所述第一卡固槽的槽深与所述第二卡固槽的槽深相同。6.根据权利要求2所述的裁剪模具，其特征在于，所述第一环形裁刀件(220)的直径为15mm-30mm。7.根据权利要求2所述的裁剪模具，其特征在于，所述第二环形裁刀件的直径为100mm-400mm。8.根据权利要求1所述的裁剪模具，其特征在于，所述定位支撑杆(100)的长度为410mm-430mm。9.根据权利要求1所述的裁剪模具，其特征在于，所述定位支撑杆(100)的高度为4mm-6mm。10.根据权利要求1所述的裁剪模具，其特征在于，所述定位支撑杆(100)的材质为440c刀具钢。技术总结本技术属于碳化硅长晶技术领域，公开了一种裁剪模具。该裁剪模具包括定位支撑杆、第一裁刀和第二裁刀，定位支撑杆上设有多个直径逐渐增大的定位孔组，每个定位孔组均包括两个定位孔，每组定位孔组的两个定位孔均相对于定位支撑杆的中心处对称设置；第一裁刀设有用于卡固定位支撑杆的第一卡固部，且第一裁刀与其中一定位孔组可拆卸连接；第二裁刀设有用于卡固定位支撑杆的第二卡固部，第二裁刀与另一定位孔组可拆卸连接，第二卡固部和第一卡固部位于同一直线上。本技术提供的裁剪模具，能够实现对环形软毡的一次成形，减少定位次数，减小裁剪误差，同时可以将环形软毡的圆度误差控制在1mm内，有效提高环形软毡的同心度。技术研发人员：乔建东,吴江,郭超,母凤文受保护的技术使用者：青禾晶元（天津）半导体材料有限公司技术研发日：20231030技术公布日：2024/8/16