光学反射元件的制作方法

本发明涉及使反射面相对于转动轴转动的光学反射元件。背景技术：1、近年来，开发了使用mems(micro electro mechanical system，微电子机械系统)技术来使反射面转动的光学反射元件。在这种光学反射元件中，能够使入射到反射面的光束以给定的摆角扫描。这样的光学反射元件例如被搭载于平视显示器、头戴式显示器等图像显示装置。除此以外，也能在使用激光来检测物体的激光雷达等中使用这种光学反射元件。2、如上述那样，在随着反射面的转动而使光扫描的结构中，通过反射面反复转动时的惯性力，会在反射面产生挠曲。若由于该挠曲而反射面变形成凹面或凸面，则光束会在扫描线上扩散。因此，反射面在转动时尽量抑制挠曲是优选的。3、在以下的专利文献1中，记载了通过所谓的音叉型振子来使反射镜转动的方式的光学反射元件。在该光学反射元件中，在沿着转动轴延伸的驱动梁的端部连接有框体，进一步地在该框体连接有反射镜。框体的刚性比反射镜的刚性高。在夹着驱动梁而被配置的一对臂部分别配置有压电致动器。通过驱动压电致动器，从而一对臂部振动，驱动梁相对于转动轴转动。由此，框体以及反射镜反复转动。4、在该结构中，框体介于反射镜与驱动梁之间，由此转动时的反射镜的挠曲被抑制。由此，能够抑制由反射镜的挠曲导致的光束的扩散，能够提高光束的扫描精度。5、在先技术文献6、专利文献7、专利文献1：国际公开第2031/046612号技术实现思路1、发明要解决的课题2、如上述那样，根据专利文献1的结构，能够通过框体的作用来抑制反射镜转动时的反射镜的挠曲。然而，在将上述结构的光学反射元件例如用于激光扫描型的图像显示装置的情况下，要求以高频率且高摆角驱动反射镜。在该情况下，在反射镜产生更大的惯性力，因而要求用于对反射镜的挠曲进一步进行抑制的结构。3、鉴于这样的课题，本发明的目的在于，提供在以高频率且高摆角驱动了形成有反射面的可动部的情况下，也能够有效地抑制可动部以及反射面的挠曲的光学反射元件。4、用于解决课题的手段5、本发明的主要方式涉及的光学反射元件具备：可动部，相对于转动轴转动；反射面，配置在所述可动部；框部，在俯视下，在所述可动部的外侧具有给定的间隙地配置，在相对于所述转动轴而对称的2个位置与所述可动部连接；梁状的扭转部，沿着所述转动轴延伸；连接部，将所述扭转部的一端与所述框部连接；一对驱动部，与所述扭转部的另一端连接，使所述扭转部相对于所述转动轴转动；和固定部，支承所述一对驱动部。所述连接部的刚性高于所述扭转部。在所述扭转部与所述连接部的边界形成有至少一对接合面。所述一对接合面相对于所述转动轴对称，并且与所述扭转部侧的所述转动轴的夹角分别是锐角。6、根据本方式涉及的光学反射元件，至少一对接合面相对于转动轴对称并且与扭转部侧的转动轴的夹角为锐角，因而可动部转动时产生的应力容易在一对接合面扩散而分散。由此，可动部转动时的框部的挠曲变得缓和，与框部连接的可动部的挠曲被抑制。由此，在以高频率且高摆角驱动了可动部的情况下，也能够有效地抑制可动部以及反射面的挠曲。7、发明效果8、如以上那样，根据本发明，能够提供在以高频率且高摆角驱动了可动部的情况下也能够有效地抑制可动部以及反射面的挠曲的光学反射元件。9、本发明的效果或意义将通过以下所示的实施方式的说明而变得更加清楚。不过，以下所示的实施方式终究是将本发明实施化时的一个例示，本发明不受以下的实施方式所记载的内容的任何限制。技术特征：1.一种光学反射元件，具备：2.根据权利要求1所述的光学反射元件，其中，3.根据权利要求1或2所述的光学反射元件，其中，4.根据权利要求1或2所述的光学反射元件，其中，5.根据权利要求1或2所述的光学反射元件，其中，6.根据权利要求5所述的光学反射元件，其中，7.根据权利要求1至6的任一项所述的光学反射元件，其中，8.根据权利要求1至7的任一项所述的光学反射元件，其中，技术总结本发明的光学反射元件具备：可动部(30)；反射面，配置在可动部(30)；框部(16、26)，在俯视下，在可动部(30)的外侧具有给定的间隙地配置，与可动部(30)连接；梁状的扭转部(14、24)，沿着转动轴(R0)延伸；连接部(15、25)，将扭转部(14、24)的一端与框部(16、26)连接；一对驱动部，与扭转部(14、24)的另一端连接；和固定部，支承一对驱动部。连接部(15、25)的刚性高于扭转部(14、24)。在扭转部(14、24)与连接部(15、25)的边界形成有至少包括一对接合面(S12)的接合面。一对接合面(S12)相对于转动轴(R0)对称，并且与扭转部(14、24)侧的转动轴(R0)的夹角分别是锐角。技术研发人员：水原健介,高山了一受保护的技术使用者：松下知识产权经营株式会社技术研发日：技术公布日：2024/8/16