离子处理装置中用于束阻挡器的紧固组合件的制

本公开大体来说涉及用于半导体器件的处理装置，且更具体来说涉及一种用于在离子处理系统中安装束阻挡器的紧固组合件。背景技术：1、等离子体有时被用于对半导体衬底(例如在电子器件中使用的半导体衬底)进行处理，以用于例如衬底刻蚀、层沉积、离子植入及其他工艺等应用。一些处理装置采用用于产生等离子体的等离子体腔室来充当用于衬底处理的离子源。离子束可通过提取组合件被提取且被引导到相邻腔室中的衬底。在一些情形中，离子束可在与提取组合件的提取开孔相邻地设置的所谓“束阻挡器”周围被分割，以形成被朝向衬底引导的一对对称的成角度离子束。束阻挡器可通过由协作的安装销、间隔件及闩锁形成的一对紧固组合件而被紧固到提取开孔的相对的侧上的提取板。2、与上述类型的紧固件相关联的缺点是容易导致束阻挡器相对于提取开孔未对准，从而导致被朝向目标衬底引导的小束之间缺乏对称性。举例来说，整个束阻挡器可能会下凹，从而导致束阻挡器上方的间隙大于束阻挡器下方的间隙。在另一实例中，束阻挡器的一个侧可能会相对于束阻挡器的相对侧下凹，从而导致提取到“扭曲的”离子束。此种未对准可能是由于制造公差造成的紧固组合件的组件大小变化而造成，和/或可能是由于重力造成的束阻挡器下凹而造成。3、针对这些及其他考虑因素而提供本公开。技术实现思路1、提供本技术实现要素：是为了以简化的形式介绍一系列概念。本发明内容并非旨在识别所主张主题的关键特征或本质特征，本发明内容也并非旨在帮助确定所主张主题的范围。2、根据本公开的用于将束阻挡器紧固到离子处理系统的提取板的紧固组合件的实施例可包括：安装销，具有圆柱形的轴部分、位于所述轴部分的第一端部处的基座部分及位于所述轴部分的相对的第二端部处的头部部分；管状的定心套筒，在径向上环绕所述轴部分且在轴向上与所述基座部分邻接，所述定心套筒适于在所述轴部分与所述提取板之间以及所述轴部分与所述束阻挡器之间在径向上被压缩；环形的间隔件，在径向上环绕所述定心套筒及所述安装销的所述轴部分且在轴向上与所述束阻挡器邻接，所述定心套筒局部地延伸到所述间隔件中且不完全延伸穿过所述间隔件；以及闩锁顶盖，在径向上环绕所述轴部分且在轴向上与所述间隔件邻接，所述轴部分延伸穿过所述闩锁顶盖的贯穿孔，所述闩锁顶盖的所述贯穿孔在与安装销的轴线垂直的方向上小于所述头部部分。3、根据本公开的离子处理系统可包括：等离子体腔室；工艺腔室，与所述等离子体腔室相邻；以及提取组合件，设置在所述等离子体腔室与所述工艺腔室之间。所述提取组合件可包括：提取板，沿着所述等离子体腔室的侧设置且对提取开孔进行界定；以及束阻挡器，与所述提取开孔相邻地设置且通过紧固组合件紧固到所述提取板。所述紧固组合件可包括：安装销，具有圆柱形的轴部分、基座部分及头部部分，所述轴部分延伸穿过所述提取板中的安装开孔且延伸穿过所述束阻挡器中的安装开孔，所述基座部分位于所述轴部分的第一端部处，所述头部部分位于所述轴部分的相对的第二端部处；管状的定心套筒，在所述提取板的所述安装开孔内及所述束阻挡器的所述安装开孔内在径向上环绕所述轴部分且在轴向上与所述基座部分邻接，所述定心套筒在所述轴部分与所述提取板之间以及所述轴部分与所述束阻挡器之间保持被径向压缩；环形的间隔件，在径向上环绕所述定心套筒及所述安装销的所述轴部分且在轴向上与所述束阻挡器邻接，所述定心套筒局部地延伸到所述间隔件中且不完全延伸穿过所述间隔件；以及闩锁顶盖，在径向上环绕所述轴部分且在轴向上与所述间隔件邻接，所述轴部分延伸穿过所述闩锁顶盖的贯穿孔，所述闩锁顶盖的所述贯穿孔在与安装销的轴线垂直的方向上小于所述头部部分。4、根据本公开的将束阻挡器紧固到离子处理系统的提取板的方法可包括：穿过所述提取板的前部将安装销插入到提取板中的安装开孔中，所述安装销具有圆柱形的轴部分、位于所述轴部分的第一端部处的基座部分及位于所述轴部分的相对的第二端部处的头部部分；将定心套筒的第一径向半部插入到所述提取板的所述安装开孔中，所述第一径向半部在径向上位于所述安装销的所述轴部分与所述提取板中间且与所述安装销的所述基座部分轴向邻接；将所述定心套筒的第二径向半部插入到所述提取板的所述安装开孔中，所述第二径向半部在径向上位于所述安装销的所述轴部分与所述提取板中间且与所述安装销的所述基座部分轴向邻接，所述定心套筒的所述第二径向半部与所述定心套筒的所述第一径向半部进行配合，以对在所述安装销的所述轴部分与所述提取板之间保持被径向压缩的管状本体进行界定；将所述束阻挡器放置在所述安装销及所述定心套筒之上，所述安装销的所述轴部分及所述定心套筒延伸穿过所述束阻挡器的安装开孔，且所述束阻挡器被设置成与所述提取板的后部进行平整邻接，其中所述定心套筒的所述管状本体在所述安装销的所述轴部分与所述束阻挡器之间保持被径向压缩；在所述定心套筒上将间隔件的第一径向半部与第二径向半部配合在一起，以对在轴向上与所述束阻挡器邻接的环形本体进行界定，所述定心套筒局部地延伸到所述间隔件的贯穿孔中；将环形的闩锁顶盖放置在所述安装销的所述头部部分之上，所述头部部分与所述闩锁顶盖的对应形状的贯穿孔对准且穿过所述贯穿孔而被插入，其中所述闩锁顶盖以与所述安装销的所述轴部分及所述间隔件的径向环绕关系设置在所述安装销的所述轴部分及所述间隔件上；以及使所述闩锁顶盖相对于所述安装销旋转，以使所述闩锁顶盖的所述贯穿孔移动成不与所述安装销的所述头部部分对准，因此防止所述闩锁顶盖在轴向上从所述安装销滑出。技术特征：1.一种用于将束阻挡器紧固到离子处理系统的提取板的紧固组合件，其特征在于，所述紧固组合件包括：2.根据权利要求1所述的紧固组合件，其特征在于，还包括多个o形环，所述多个o形环设置在形成于所述间隔件中的对应空腔内且面对所述闩锁顶盖。3.根据权利要求1所述的紧固组合件，其特征在于，所述安装销的所述头部部分具有椭圆形形状。4.根据权利要求1所述的紧固组合件，其特征在于，所述安装销的所述轴部分延伸穿过所述间隔件的贯穿孔，所述间隔件具有在径向上向内延伸的凸缘，所述凸缘在径向上悬置在所述贯穿孔的后侧上且覆盖所述定心套筒的端部，以保护所述定心套筒免受离子轰击。5.根据权利要求1所述的紧固组合件，其特征在于，所述定心套筒由分开的第一径向半部与第二径向半部形成，所述第一径向半部与所述第二径向半部适于配合在一起。6.根据权利要求1所述的紧固组合件，其特征在于，所述间隔件由分开的第一径向半部与第二径向半部形成，所述第一径向半部与所述第二径向半部适于配合在一起。7.根据权利要求1所述的紧固组合件，其特征在于，所述安装销的所述基座部分在与所述安装销的所述轴线垂直的方向上大于所述安装销的所述轴部分。8.根据权利要求1所述的紧固组合件，其特征在于，所述定心套筒由聚四氟乙烯(ptfe)形成。9.一种离子处理系统，其特征在于，包括：10.根据权利要求9所述的离子处理系统，其特征在于，还包括多个o形环，所述多个o形环设置在形成于所述间隔件中的对应空腔内，所述o形环在所述闩锁顶盖与所述间隔件之间保持被压缩。11.根据权利要求9所述的离子处理系统，其特征在于，所述安装销的所述头部部分具有椭圆形形状。12.根据权利要求9所述的离子处理系统，其特征在于，所述安装销的所述轴部分延伸穿过所述间隔件的贯穿孔，所述间隔件具有在径向上向内延伸的凸缘，所述凸缘在径向上悬置在所述贯穿孔的后侧上且覆盖所述定心套筒的端部，以保护所述定心套筒免受离子轰击。13.根据权利要求9所述的离子处理系统，其特征在于，所述定心套筒由分开的第一径向半部与第二径向半部形成，所述第一径向半部与所述第二径向半部在所述安装销的所述轴部分上配合在一起。14.根据权利要求9所述的离子处理系统，其特征在于，所述间隔件由分开的第一径向半部与第二径向半部形成，所述第一径向半部与所述第二径向半部适于在所述定心套筒上配合在一起。15.根据权利要求9所述的离子处理系统，其特征在于，所述安装销的所述基座部分在与所述安装销的所述轴线垂直的方向上大于所述安装销的所述轴部分。16.一种将束阻挡器紧固到离子处理系统的提取板的方法，其特征在于，所述方法包括：17.根据权利要求16所述的方法，其特征在于，所述间隔件具有在径向上向内延伸的凸缘，所述凸缘在径向上悬置在所述贯穿孔的后侧上且覆盖所述定心套筒的端部，以保护所述定心套筒免受离子轰击。18.根据权利要求16所述的方法，其特征在于，还包括将多个o形环设置在形成于所述间隔件中的对应空腔内。19.根据权利要求18所述的方法，其特征在于，将所述闩锁顶盖放置在所述安装销的所述头部部分之上包括将所述多个o形环压缩在其对应的空腔内。20.根据权利要求16所述的方法，其特征在于，将所述安装销插入到所述提取板的所述安装开孔中包括将所述安装销的所述基座部分设置在所述提取板的所述安装开孔的锁口内。技术总结一种用于将束阻挡器紧固到提取板的紧固组合件，所述紧固组合件包括：安装销，具有轴部分、位于轴部分的第一端部处的基座部分及位于轴部分的第二端部处的头部部分；定心套筒，在径向上环绕轴部分且在轴向上与基座部分邻接，所述定心套筒在轴部分与提取板之间以及轴部分与束阻挡器之间可在径向上被压缩；环形的间隔件，环绕定心套筒且在轴向上与束阻挡器邻接，所述定心套筒局部地延伸到间隔件中；以及闩锁顶盖，环绕轴部分且在轴向上与间隔件邻接，所述轴部分延伸穿过闩锁顶盖的贯穿孔，所述贯穿孔在与安装销的轴线垂直的方向上小于头部部分。技术研发人员：凯文·T·莱恩,爱普·纳文·汤玛斯,亚当·卡尔金斯,杰伊·R·沃利斯,泰勒·洛克威尔,所罗门·拜兰格迪·巴萨姆,凯文·M·丹尼尔斯,凯文·瑞查德·威耶受保护的技术使用者：应用材料股份有限公司技术研发日：技术公布日：2024/8/16