掩膜版智能管理方法、电子设备和可读存储介质

本发明涉及半导体制造，特别涉及一种掩膜版智能管理方法、电子设备和可读存储介质。背景技术：1、在半导体制造领域中，掩膜版(mask)是曝光过程中的原始图形的载体，通过曝光过程，原始图形的信息将被传递到芯片上。2、掩膜版(mask)管理混乱会造成晶圆作业的不及时性，从而可能会导致交货期的延误、造成一些质量事故，同时也会提高晶圆的生产成本，造成材料的浪费，增加能源的耗费等问题。3、需要说明的是，公开于该发明背景技术部分的信息仅仅旨在加深对本发明一般背景技术的理解，而不应当被视为承认或以任何形式暗示该信息构成已为本领域技术人员所公知的现有技术。技术实现思路1、本发明的目的在于提供一种掩膜版智能管理方法、电子设备和可读存储介质，可以解决fab(从事晶圆制造的工厂)内掩膜版(mask)的存入(bank in)、取出(bank out)规则不明确、不够系统化与智能化的问题。2、为解决上述技术问题，本发明提供一种掩膜版智能管理方法，所述掩膜版智能管理方法包括：3、根据预先设定的掩膜版与掩膜版存储盒之间的绑定规则，确定掩膜版存储盒类型；4、针对每一掩膜版存储盒类型，根据该类型的掩膜版存储盒的预设最低保管量、空置量以及与该类型的掩膜版存储盒相绑定的掩膜版的待取出数量，确定与该类型的掩膜版存储盒相绑定的掩膜版的待存入数量；5、针对每一掩膜版存储盒类型，根据与该类型的掩膜版存储盒相绑定的掩膜版的待存入数量，按照预设存入规则存入对应数量的与该类型的掩膜版存储盒相绑定且一段时间内无需使用的掩膜版，以使得该类型的掩膜版存储盒的实际保管量大于或等于其预设最低保管量。6、可选的，针对每一掩膜版存储盒类型，根据线上lot实时数据，确定与该类型的掩膜版存储盒相绑定的掩膜版的第一待取出数量，并根据预设维护数据确定与该类型的掩膜版存储盒相绑定的掩膜版的第二待取出数量。7、可选的，所述根据线上lot实时数据，确定与该类型的掩膜版存储盒相绑定的掩膜版的第一待取出数量，包括：8、根据线上lot当前所在光刻层之后的第一预设数目的光刻层的掩膜版分布情况，确定与该类型的掩膜版存储盒相绑定的掩膜版的第一待取出数量。9、可选的，所述根据预先设定的掩膜版与掩膜版存储盒之间的绑定规则，确定掩膜版存储盒类型，包括：10、根据掩膜版的类型，确定掩膜版存储盒类型的第一位标识符；11、根据机台的类型，确定掩膜版存储盒类型的第二位标识符；12、根据所述第一位标识符和所述第二位标识符，确定掩膜版存储盒类型。13、可选的，所述按照预设存入规则存入对应数量的与该类型的掩膜版存储盒相绑定且一段时间内无需使用的掩膜版，包括：14、按照优先存入与该类型的掩膜版存储盒相绑定的空闲时间超过第一时间阈值的非点检需保留的掩膜版的规则，存入对应数量的与该类型的掩膜版存储盒相绑定的掩膜版。15、可选的，所述方法还包括：16、汇总出线上lot中的位于其前面的第二预设数目的光刻层内的wip数量连续为0的所有目标光刻层；17、针对每一掩膜版存储盒类型，若与该类型的掩膜版存储盒相绑定的空闲时间超过预设时间阈值的非点检需保留的掩膜版的数量小于其所对应的待存入数量，则将所述目标光刻层中所分布的与该类型的掩膜版存储盒相绑定的掩膜版存入。18、可选的，优先将所在层数最大且lot等级最低的目标光刻层中所分布的与该类型的掩膜版存储盒相绑定的掩膜版存入。19、可选的，本发明提供的掩膜版智能管理方法还包括：20、针对当前生产线上紧缺的掩膜版存储盒类型，根据除该紧缺的掩膜版存储盒类型以外的其它类型的掩膜版存储盒在满足预设最低保管量的情况下的剩余可存入数量，将至少一部分空置的其它类型的掩膜版存储盒转换为该紧缺的掩膜版存储盒类型的掩膜版存储盒。21、为解决上述技术问题，本发明还提供一种电子设备，包括处理器和存储器，所述存储器上存储有计算机程序，所述计算机程序被所述处理器执行时，实现上文所述的掩膜版智能管理方法。22、为解决上述技术问题，本发明还提供一种可读存储介质，所述可读存储介质内存储有计算机程序，所述计算机程序被处理器执行时，实现上文所述的掩膜版智能管理方法。23、与现有技术相比，本发明提供的掩膜版智能管理方法、电子设备和可读存储介质具有以下有益效果：24、本发明提供的掩膜版智能管理方法通过先根据预先设定的掩膜版与掩膜版存储盒之间的绑定规则，确定掩膜版存储盒类型；再针对每一掩膜版存储盒类型，根据该类型的掩膜版存储盒的预设最低保管量、空置量以及与该类型的掩膜版存储盒相绑定的掩膜版的待取出数量，确定与该类型的掩膜版存储盒相绑定的掩膜版的待存入数量；最后针对每一掩膜版存储盒类型，根据与该类型的掩膜版存储盒相绑定的掩膜版的待存入数量，按照预设存入规则存入对应数量的与该类型的掩膜版存储盒相绑定且一段时间内无需使用的掩膜版，以使得该类型的掩膜版存储盒的实际保管量大于或等于其预设最低保管量。由此，通过采用本发明提供的掩膜版智能管理方法可以将一段时间内无需使用的掩膜版(mask)进行存入(bank in)，从而可以解决fab(从事晶圆制造的工厂)内掩膜版(mask)的存入(bankin)、取出(bank out)规则不明确、不够系统化与智能化的问题，进而可以确保掩膜版(mask)可正常存入和lot及时作业，保证产品交货期，避免产能的浪费。25、由于本发明提供的电子设备和可读存储介质与本发明提供的掩膜版智能管理方法属于同一发明构思，因此本发明提供的电子设备和可读存储介质至少具有本发明提供的掩膜版智能管理方法所具有的所有有益效果，具体可以参考上文中有关本发明提供的掩膜版智能管理方法的有益效果的相关描述，故在此不再对本发明提供的电子设备和可读存储介质所具有的有益效果一一进行赘述。技术特征：1.一种掩膜版智能管理方法，其特征在于，包括：2.根据权利要求1所述的掩膜版智能管理方法，其特征在于，针对每一掩膜版存储盒类型，根据线上lot实时数据，确定与该类型的掩膜版存储盒相绑定的掩膜版的第一待取出数量，并根据预设维护数据确定与该类型的掩膜版存储盒相绑定的掩膜版的第二待取出数量。3.根据权利要求2所述的掩膜版智能管理方法，其特征在于，所述根据线上lot实时数据，确定与该类型的掩膜版存储盒相绑定的掩膜版的第一待取出数量，包括：4.根据权利要求1所述的掩膜版智能管理方法，其特征在于，所述根据预先设定的掩膜版与掩膜版存储盒之间的绑定规则，确定掩膜版存储盒类型，包括：5.根据权利要求1所述的掩膜版智能管理方法，其特征在于，所述按照预设存入规则存入对应数量的与该类型的掩膜版存储盒相绑定且一段时间内无需使用的掩膜版，包括：6.根据权利要求5所述的掩膜版智能管理方法，其特征在于，所述方法还包括：7.根据权利要求6所述的掩膜版智能管理方法，其特征在于，优先将所在层数最大且lot等级最低的目标光刻层中所分布的与该类型的掩膜版存储盒相绑定的掩膜版存入。8.根据权利要求1所述的掩膜版智能管理方法，其特征在于，所述方法还包括：9.一种电子设备，其特征在于，包括处理器和存储器，所述存储器上存储有计算机程序，所述计算机程序被所述处理器执行时，实现权利要求1至8中任一项所述的掩膜版智能管理方法。10.一种可读存储介质，其特征在于，所述可读存储介质内存储有计算机程序，所述计算机程序被处理器执行时，实现权利要求1至8中任一项所述的掩膜版智能管理方法。技术总结本发明提供了一种掩膜版智能管理方法、电子设备和可读存储介质，该方法包括：根据预先设定的掩膜版与掩膜版存储盒之间的绑定规则，确定掩膜版存储盒类型；针对每一掩膜版存储盒类型，根据该类型的掩膜版存储盒的预设最低保管量、空置量以及与该类型的掩膜版存储盒相绑定的掩膜版的待取出数量，确定与该类型的掩膜版存储盒相绑定的掩膜版的待存入数量；针对每一掩膜版存储盒类型，根据与该类型的掩膜版存储盒相绑定的掩膜版的待存入数量，按照预设存入规则存入对应数量的与该类型的掩膜版存储盒相绑定且一段时间内无需使用的掩膜版，以使得该类型的掩膜版存储盒的实际保管量大于或等于其预设最低保管量。本发明可以解决FAB(从事晶圆制造的工厂)内掩膜版(Mask)的存入(bank in)、取出(bank out)规则不明确、不够系统化与智能化的问题。技术研发人员：梁艳霞,魏梦如,孙惺磊,张晖受保护的技术使用者：上海华力微电子有限公司技术研发日：技术公布日：2024/8/16