水处理方法、水处理装置以及纯水制造系统与流

本发明涉及一种水处理方法、水处理装置以及纯水制造系统。背景技术：1、在特开平3-278882号公报中，作为水中溶解氧的去除方法，记载了一种在溶解氧的水中溶解还原剂并照射紫外线的结构。技术实现思路1、发明要解决的课题2、在半导体制造装置等中使用的纯水(包括超纯水)中，期望尿素被去除。3、但是，特开平3-278882号公报中所记载的技术是去除水中的溶解氧的方法，并不会去除被处理水中的尿素。4、为了分解被处理水中的尿素，例如可以考虑通过使被处理水通过反渗透膜等过滤膜来分离尿素的方法。另外，还可以考虑使用紫外线照射或过氧硫酸等氧化剂的分解方法。但是，即使是这些方法，也难以从被处理水中充分地去除尿素，期望以更高的尿素去除率将尿素去除。另外，在添加氧化剂的情况下，大量添加的氧化剂的一部分会残留在被处理水中，还有可能引起尿素处理装置的后段所具备的膜装置或离子交换装置中的劣化，因此还需要用还原剂对氧化剂进行处理。5、本公开的目的在于高效率地从被处理水中去除尿素。6、解决课题的手段7、关于第一方式的水处理方法，向被处理水中添加还原剂，向添加有所述还原剂的所述被处理水照射紫外线来分解尿素。8、在该水处理方法中，虽然通过向被处理水照射紫外线来分解尿素，但是在照射紫外线之前向被处理水中添加还原剂。这样，在向被处理水添加还原剂之后，进行紫外线照射，由此与不进行这样一系列处理的结构相比，能够高效地从被处理水中去除尿素。9、关于第二方式的水处理方法，在第一方式中，所述还原剂包括亚硫酸钠、亚硫酸氢钠以及氨基磺酸钠中的至少一个。10、还原剂包括亚硫酸钠、亚硫酸氢钠以及氨基磺酸钠中的至少一个，由此能够有效地分解尿素。11、关于第三方式的水处理方法，在第一方式或第二方式中，所述还原剂的添加浓度为7ppm以上且30ppm以下。12、通过将还原剂的添加浓度设为7ppm以上，能够有效地分解尿素。13、另外，通过将还原剂的添加浓度设为30ppm以下，能够抑制尿素的分解效率降低。14、关于第四方式的水处理方法，在第一方式至第三方式中的任一方式中，对照射所述紫外线之后的所述被处理水进行脱盐处理。15、通过进行脱盐处理，能够从被处理水中去除离子成分的一部分。16、关于第五方式的水处理方法，在第一方式至第四方式中的任一方式，照射所述紫外线时的所述被处理水的溶解氧量为3ppm以上且8ppm以下。17、与向溶解氧量小于3ppm的被处理水照射紫外线的情况相比，能够提高尿素去除率。另外，与照射紫外线时的被处理水的溶解氧量超过8ppm的情况相比，在通过该水处理方法进行处理后的水中，不会残留过多的氧。18、关于第六方式的水处理装置，具有：还原剂添加装置以及紫外线照射装置，所述还原剂添加装置向被处理水中添加还原剂；所述紫外线照射装置向添加有所述还原剂的所述被处理水照射紫外线来分解尿素。19、在该水处理装置中，虽然用紫外线照射装置向被处理水照射紫外线来分解尿素，但是在照射紫外线之前，用还原剂添加装置向被处理水中添加还原剂。这样，在向被处理水中添加还原剂之后，进行紫外线照射，由此与不进行这样一系列处理的结构相比，能够高效地从被处理中水去除尿素。20、关于第七方式的纯水制造系统，具有：第六方式的水处理装置以及纯水制造装置，所述纯水制造装置从所述被处理水中去除杂质来制造纯水，所述被处理水是经所述水处理装置处理后的。21、由于具有第六方式的水处理装置，因此能够以高尿素去除率从被处理水中去除尿素。而且，由纯水制造装置制造的纯水也是以高尿素去除率去除了尿素而得到的纯水。22、发明效果23、通过本公开的技术，能够高效地从被处理水中去除尿素。技术特征：1.一种水处理方法，其中，2.根据权利要求1所述的水处理方法，其中，3.根据权利要求1所述的水处理方法，其中，4.根据权利要求1所述的水处理方法，其中，5.根据权利要求1所述的水处理方法，其中，6.一种水处理装置，其中，具有：7.一种纯水制造系统，其中，具有：技术总结本发明提供一种水处理方法、水处理装置以及纯水制造系统。本发明高效地从被处理水去除尿素。在水处理方法中，向被处理水中添加还原剂，向添加有还原剂的被处理水照射紫外线照射来分解尿素。技术研发人员：野口幸男,秋元良裕受保护的技术使用者：野村微科学股份有限公司技术研发日：技术公布日：2024/8/16